等离子清洗机GDR-10PR
>> 产品特点
GDR-10PR台式等离子清洗机是我公司针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机，PLC人机自动控制，内部无电极。广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过等离子清洗机的处理,能够改善材料的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。
>> 技术参数
◆ 设备外形尺寸
630(W)×650(D)×420(H)mm
◆ 仓体结构(耐热玻璃或石英玻璃，约10升)
Φ215 × 300(L) mm
◆ 电极面积(外置电容耦合或电感耦合电极)
180(W) ×210(D) mm
◆ 等离子发生器(韩国KM)
频率13.56MHZ,功率0-200W连续调节,自动阻抗匹配
可选择40KHZ中频等离子发生器(0-300W)
◆ 控制系统
触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子电器元件, 并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统
德国莱宝(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h)
SMC截止阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器
◆ 压力控制
PID闭环自动稳压控制
◆ 气路系统
2路工艺气体配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路
>> 相关应用
- 光刻胶清洗
- 表面改性