大气微波等离子炬

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分类 : 大气微波等离子炬

微波等离子体以无内部电极污染、电离度高、电子密度高、较高的离子温度和电子温度、运行气压范围宽等优点在含氟废气处理、薄膜沉积、材料表面改性等工艺中得到广泛应用。大气压微波等离子体设备具有粒子密度更大、无需配置和维护昂贵的真空设备及易于连续化加工等优点