MEMS

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分类 : 半导体/微电子

    SU-8胶的许多非凡的性能很适合使用在制造MEMS和微射流器件上。SU-8是阴性成像环氧树脂型，近紫外光刻胶，可均匀延展的厚度可达2毫米，由于其优良的透明度可以用标准的光照曝光机来处理它。这种适合于MEMS制造的光刻胶的众多优点中有一项是它的化学稳定性，只是这样SU-8太稳定了以至于很难去除。戈德尔已成功开发出微波等离子清洗机用于灰化去除SU-8的工艺。

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